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本发明提供一种同轴针形结构的液态金属靶材及其制备方法和应用，包括靶材基底和覆于所述靶材基底表面的液态金属靶材层，所述靶材基底的表面溅射区具有高于非溅射区的凸起结构，且每个所述凸起结构的周壁设有储液槽。如此设置，液态金属在靶材基底的外表面浸润铺展，优选倒置使用。储液槽内可储存液态金属，在溅射过程中不断向凸起部位浸润铺展，实现自填装功能，从而提高靶材的利用率和使用寿命，同时能够保证溅射表面的液态金属钯材始终处于较稳定的金属膜结构，从而提高溅射镀膜的稳定性和质量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064849A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202211468986.6
(22)申请日2022.11.22
(71)申请人中国科学院理化技术研究所
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