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本发明涉及一种气体裂解源用流量阀系统及流量调节方法，属于流量控制技术领域，包括相连接的流量传感器、流量阀和气体裂解源，流量传感器的进气口与气瓶连接，流量阀的出气口与气体裂解源的进气口连接；气体裂解源包括前端盖，其内部设置有导流区域，气流沿前端盖切线方向进入导流管内；流量阀包括锥形阀及与之电连接的控制器，流量传感器与控制器电连接，锥形阀的入口端通过阶梯状管路与流量传感器连接；锥形阀的出口端通过L型弯管与气体裂解源连接，L型弯管的弯折处为四分之一圆角；通过调节锥形阀的开度使气流稳定。本发明能够实现提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118068870A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410449113.3
(22)申请日2024.04.15
(71)申请人东北大学
地址110819
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