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本发明公开了一种半导体重掺单晶硅棒制造中的集尘系统及方法，包括硅单晶炉，所述硅单晶炉的一端贯通连接有调节阀，所述调节阀的一端贯通连接有真空阀门，所述真空阀门的一端贯通连接有旋风集尘装置，所述旋风集尘装置的出口端贯通连接有真空过滤器，所述真空过滤器的一端贯通连接有真空泵，所述旋风集尘装置的进口端还贯通连接有单向阀，所述单向阀的一端贯通连接有两位两通电磁阀，所述两位两通电磁阀的输入端与旋风集尘装置的出口端贯通连接，所述两位两通电磁阀的输出端分别贯通连接有气体检测传感器和三通电磁阀，所述旋风集尘装置包
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118064961A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410460132.6
(22)申请日2024.04.17
(71)申请人江苏芯诺半导体科技有限公司
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