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本发明提供一种非球形胶体二氧化硅及其制备方法和用途。非球形胶体二氧化硅的粒径为35～150nm，颗粒长宽比为1.5～2.5。制备方法：1)将包括第一有机溶剂、碱和水的第一混合液加入到包括烷氧基硅烷和第二有机溶剂的第二混合液中反应，得到非球形二氧化硅晶核；2)将非球形二氧化硅晶核作为一级母液，分至少一步加入水、碱和烷氧基硅烷，进行至少一步颗粒生长，得到非球形胶体二氧化硅的有机溶液；3)将非球形胶体二氧化硅的有机溶液中有机溶剂置换为水。该非球形胶体二氧化硅在抛光过程中有更高的抛光速率且不影响表面质量
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118062851A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202211496393.0
(22)申请日2022.11.24
(71)申请人浙江新创纳电子科技有限公司
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