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一种可灵活调节的介质阻挡放电等离子体射流装置，包括柔性绝缘介质管、供电电源、电极线、绝缘介质屏障；柔性绝缘介质管的轴心开有通孔，通孔作为介质腔；介质腔的一端为载气进口，另一端为等离子体喷射出口；柔性绝缘介质管的内、外壁之间有两条相互平行的螺旋线槽，每条螺旋线槽中分别缠绕一根电极线作为放电电极；所供电电源分别为两个放电电极供电；绝缘介质屏障为绝缘介质管的最外层。本发明避免了电击的可能，提供了日常所需的安全操作条件和设备的灵活性，可以实现在材料表面处理、医学和微电子制造等多领域的常态化应用；增大了放
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118075966A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202310660379.8
(22)申请日2023.06.06
(71)申请人上海大学
地址200444
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