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2024-05-25 发布于四川
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晶圆寻边装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆寻边装置，包括旋转机构，所述旋转机构包括：旋转杆，其内部形成有第一气道，第一气道包括第一开口和位于旋转杆外周的第二开口；套筒组件，沿其轴线方向贯通形成有连接孔，套筒组件内部形成有第二气道，第二气道包括抽气口和位于连接孔的内周上的第三开口；吸附台，用于承载晶圆，吸附台固定在旋转杆一端，且与第一开口连通；旋转驱动件，传动连接在旋转杆的另一端；其中，旋转杆可转动地穿设在连接孔中，第二开口位于连接孔内，且适于在旋转过程中与第三开口相连通。本实用新型采用上述结构，能够实现真空作业的

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221008925U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202322245061.1

(22)申请日2023.08.21

(73)专利权人普雷赛斯（苏州）智能科技有限公

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