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本发明公开一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法,其中,喷气装置包括喷气管,喷气管包括内管及外管,外管套设于内管的外部,内管与外管设置于同一轴线上;于内管的外壁和外管的内壁之间设置有缓冲区;内管上设置有多个用于排气的第一喷气口;外管上设置有多个与第一喷气口匹配的第二喷气口;喷气管内的气体依次通过第一喷气口、缓冲区及第二喷气口后喷出。本发明通过双管路的设计形成缓冲区,以降低气体到达喷气口的流速差,从而平稳喷气口的气体流态,使得IPA气体均匀分布,形成厚度一致的IPA膜,达到更好的干燥效果。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118073245A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410395784.6
(22)申请日2024.04.02
(71)申请人上海至纯洁净系统科技股份有限公
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