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本发明公开了一种热电堆红外探测器及其制备方法，热电堆红外探测器包括：衬底、支撑层、红外吸收层、若干热偶条与金属电极结构；支撑层设置在衬底上；红外吸收层设置在支撑层上并位于支撑层的中间位置；热偶条设置在支撑层上，并与红外吸收层连接，沿红外吸收层的边缘分布；其中，热偶条为碲化铋材料制成，热偶条包括P型碲化铋热偶条与N型碲化铋热偶条；金属电极结构设置在支撑层上，P型碲化铋热偶条通过金属电极结构串联，N型碲化铋热偶条通过金属电极结构串联。本发明采用碲化铋材料制作热电堆红外传感器的热偶条，可以大大提升热电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118076205A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410215975.X
(22)申请日2024.02.27
(71)申请人中国科学院深圳先进技术研究院
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