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一种扩散炉.pdfVIP

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  • 2024-05-25 发布于四川
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一种扩散炉.pdf

    本实用新型公开了一种扩散炉，涉及扩散炉技术领域，包括反应室，所述反应室内设有盛放硅片的石英舟，所述反应室内位于石英舟的两边设有第一出气管和第二出气管，所述第一出气管上设有多个呈阵列分布的第一出气口，所述反应室内位于硅片的四周设有螺旋出气管，所述螺旋出气管上设有多个第三出气口，通过第一出气管排放氮气、第二出气管排放三氯化硼、螺旋出气管排放氧气，分开排放氧气和三氯化硼气体的排放可以防止在管道内发生反应堵塞管道，通过螺旋出气管可以省略氧气从硅片的一端扩散到另一端的过程，加速了氧气在反应室内部的扩散，此

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220999955U

    (45)授权公告日2024.05.24

    (21)申请号202322806150.9

    (22)申请日2023.10.19

    (73)专利权人安徽美达伦光伏科技有限公司

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