超净高纯试剂.docx

第三章超净高纯试剂

概述

超净高纯试剂又称工艺化学品〔ProcessChemicals，以下称为工艺化学品〕，是电子技术微细加工制作过程中不行缺少的关键性根底化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀，它的纯度和干净度对集成电路的成品率、电性能及牢靠性都有着格外重要的影响。工艺化学品是基于微电子技术的进展而产生的，并随着微电子技术的进展

而进展，同时又制约着微电子技术的进展。因此，工艺化学品的争论和开，发必需与微电子技术的进展及应用需求相结合才具有现实意

义。

微电子技术进呈现状

微电子技术即电子微细加工技术主要是指用于半导体器件和集成电路加工制作的一系列蚀刻及处理技术。其中集成电路〔简称