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本发明公开了一种灵敏度标定方法、标定工件及掠入射干涉仪，方法包括：获取标定工件的检测图像；根据检测图像获取目标特征信息；获取掠入射干涉仪的检测参数，检测参数包括干涉仪棱镜的折射率；根据目标特征信息和检测参数确定掠入射角度；基于掠入射角度确定掠入射干涉仪的灵敏度。本发明使用带有特征标记的标定工件进行标定，并根据目标特征信息和检测参数确定掠入射角度，从而可以确定掠入射干涉仪的灵敏度。本发明的标定工件与待测晶圆的厚度可以做到同一范围，在测量和标定过程中可以直接切换，对样品台的升降调节量需求更低，且本发
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118066993A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202410188817.X
(22)申请日2024.02.20
(71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司
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