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本申请提供一种半导体设备化学品加液系统及生产系统，应用于半导体生产技术领域，其中系统中包括：扫码器，用于在向半导体设备添加化学品前，分别扫描所述半导体设备上的第一识别码和所述化学品上的第二识别码；扫码比对器，用于判断所述第一识别码与所述第二识别码是否匹配，若不匹配则输出触发信号；警报器，用于在所述触发信号的触发下发出警报。通过采用扫码器、扫描比对器、警报器等部件构成系统，能够防止化学品加液加错情况。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221008905U
(45)授权公告日2024.05.24
(21)申请号202322363079.1
(22)申请日2023.08.31
(73)专利权人上海积塔半导体有限公司
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