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本发明涉及一种MEMS热电堆的响应时间检测方法及系统。其检测方法包括：提供待检测的MEMS热电堆，并在所述MEMS热电堆的红外吸收区内集成用于提供响应时间检测所需热源的检测加热器；驱动检测加热器工作，以将检测加热器配置作为热源，其中，检测加热器工作所产生的热量传递至MEMS热电堆内热偶的热端，以驱动MEMS热电堆响应工作；获取MEMS热电堆基于检测加热器所传递热量下的响应输出电压；基于所采集获取MEMS热电堆的响应输出电压，确定所述MEMS热电堆的响应时间。本发明能实现对MEMS热电堆响应时间的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115900974A
(43)申请公布日2023.04.04
(21)申请号202211303236.3
(22)申请日2022.10.24
(71)申请人无锡物联网创新中心有限公司
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