一种碳化硅生产长晶炉.pdfVIP

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本实用新型公开了一种碳化硅生产长晶炉,包括炉体,所述炉体顶部设有炉盖,所述炉体内设有坩埚,所述炉体内且位于坩埚外侧设有加热组件,所述炉体上方外壁沿圆周方向设有定位环,所述炉盖外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环外侧的环套,所述环套上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓,所述炉体外侧设有与所述炉盖连接的驱动装置,本实用新型涉及碳化硅生产技术领域,本装置结构紧凑,采用自动化开合炉体上盖,减轻工人劳动量,同时提高操作安全性,调节组件可带动炉盖转动进而使坩埚可由炉体上方取出,方便生产操作,给人们的使用带来了方便。

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220999947U

(45)授权公告日2024.05.24

(21)申请号202322455819.4

(22)申请日2023.09.08

(73)专利权人常州能量方舟新材料有限公司

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