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本发明涉及一种用于真空泄漏检测的装置,包括真空泵(18)、设计用于容纳测试样本并可通过真空泵(18)抽真空的测试腔(12)以及气体检测器(16),该气体检测器对通过真空泵(18)从测试腔(12)排出的气体进行检测,其中,测试腔(12)具有多个真空连接件(26),其设置有真空泵(18),以对测试腔(12)进行抽空,其特征在于,在真空连接件(26)和真空泵(18)之间流体地设置有与真空连接件(26)连接的公共泵容积(28),并且该公共泵容积通过真空泵(18)被抽空。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118076869A
(43)申请公布日2024.05.24
(21)申请号202280062952.9(74)专利代理机构深圳中一联合知识产权代理
(22)申请日2022.09.
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