特殊气体供应系统PPT课件.pptx

特殊气体介绍;Pressureunit:（压力单位）

psig—表压，psia—绝对压力 psia=psig+14.7

1bar=105Pa=1.0197Kg/cm2=14.504psi=0.987atm

1atm=14.7psi

Flowrateunit:（流量单位）

sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟

1slpm=1000sccm

S表示标准状态，即：1大气压，20℃。

Weightunit:（重量单位）

1Kg=2.2Lbs;

化学品及企业标识:化学品名称,企业名称,企业应急电话等

危险性概述:危险性类别(8大类)，侵入途径，健康危害等

急救措施:皮肤接触，眼睛接触，吸入等

消防措施:危险特性，有害燃烧产物，灭火方法及灭火剂，灭火注意事项等

泄露应急处理:应急处理和消除方法等

操作处置与储存:操作注意事项，储存注意事项等

接触控制/个体防护:最高容许浓度TLV，呼吸系统防护,眼睛防护，身体防护等

理化特性:PH值，沸点（℃），相对蒸气密度（空气=1）等

废弃处置：废弃物性质，废弃处置方法，废弃注意事项等

法规信息：国内化学品安全管理法规，国际法规等

??;SMIC的特殊气体分为四种:

惰性气体

毒性气体

腐蚀性气体

可燃性/毒性气体;在SMIC总共有41种特殊气体:

14种惰性气体

CF4,CHF3,C4F8,C2F6,SF6,CO2,C3F8,0.5%O2/He,20%O2/N2,

30%O2/He,1.2%Kr/Ne,1.2%He/N2,100ppmXe/Ar/Ne,99.5%He/N2

6种毒性气体

SiH4,1%PH3/N2,1%PH3/H2,CO,0.7%AsH3/H2，B2H6

8种腐蚀性气体

ClF3,NH3,SiF4,HCl,Cl2,HBr,0.9%F2/1.2%Kr/Ne,0.9%F2/3.5%Ar/Ne

10种可燃性/毒性气体

NO,SiH2Cl2(DCS),N2O,NF3,10%CH4/Ar,CH3F,CH2F2,C4F6,4%H2/N2,5%H2/He,CH4

Sub-Fab(腐蚀性)—C5F8,BCl3和WF6;气体房包括CQC(连续质量控制)房,纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.

气体房布置图如附件:;特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP,然后送到机台端给制程用

特使气体供应系统包括3部分:

气瓶柜—气体供应的源头,供应稳定压力的气体

VMB/VMP—气体分配器,装有阀门来控制每一路气体管道

机台—特殊气体的最终用户;;;;;所有气瓶柜在零中断的情况下自动切换,在紧急情况下会自动停止供气.

我们也可在必要条件下手动操作气瓶柜.;对???压的气体,我们使用压力传感器来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.

当送气压力达到低设定时,气瓶也会从一侧切到另一侧.;对液态的气体,我们用磅秤来监测气瓶内气体的状况.当气瓶压力达到低设定时,气瓶会从一侧切到另一侧,同时也会释放出警报.当磅秤出现问题时,气瓶也会根据气瓶压力的状况从一侧切到另一侧.

;FAB2BSGS大宗特殊气体供应包括:CO2,C2F6,N2O,NF3,SiH4

Y气瓶供应包括:CO2,C2F6,N2O

气瓶组供应包括:NF3,SiH4

;大宗特殊气体供应----Y气瓶;大宗特殊气体供应----气瓶组;在SMIC,共有6种气体需要安装双套管:

SiH4,CO,1%PH3/N2,1%PH3/H2,0.7%AsH3/H2,ClF3

因此类气体比其它的气体更具危险性,所以我们使用双套管来确保安全.

针对ClF3这种特气,因为需要加热,但真空是绝热的,所以我们在内外套管之间通入70psi的PN2来传热.;双层管示意图;特殊气体供应系统介绍;;;23;