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本发明提供一种双轴检测MEMS谐振式加速度计，双轴检测MEMS谐振式加速度计包括敏感质量块、解耦结构、杠杆结构、谐振器和静电激励及检测结构，其中解耦结构包括三个解耦梁、两个弓形梁和连接块，所有梁均在同一平面内。杠杆结构包括一级杠杆系统与二级杠杆系统，一级杠杆系统与解耦结构相连，二级杠杆与谐振器相连；谐振器包括谐振结构、耦合结构及结合梁组成，谐振结构通过结合梁与耦合结构相连。静电激励和检测结构包括固定梳齿、移动梳齿、梳齿连接梁和上端面，固定梳齿与上端面连接，可动梳齿通过梳齿连接梁与谐振梁相连接。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118091189A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410238549.8
(22)申请日2024.03.04
(71)申请人山东理工大学
地址255086
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