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碳化硅生长炉的装出炉装置及装出炉方法.pdfVIP

碳化硅生长炉的装出炉装置及装出炉方法.pdf

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    本申请公开了碳化硅生长炉的装出炉装置及装出炉方法，属于晶体生长炉技术领域。其中，装出炉装置包括：框架，适于放置于地面；第一活动组件，包括托爪、第一升降机构和第一滑动机构，托爪适于承托热场，第一升降机构适于带动托爪升降，并与第一滑动机构连接，第一滑动机构适于带动第一升降机构相对框架滑动；第二活动组件，位于第一活动组件的下方，包括夹爪、第二升降机构和第二滑动机构，夹爪适于夹持支撑件，第二升降机构适于带动夹爪升降，并与第二滑动机构连接，第二滑动机构适于带动第二升降机构相对框架滑动。装出炉方法则包括由托

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118087030A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410240326.5

    (22)申请日2024.03.04

    (71)申请人宁波合盛新材料有限公司

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