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本申请提供了一种取晶装置,包括安装支架、导柱、托盘升降机构、托盘及晶棒检测机构,其中:导柱沿竖直方向设置在安装支架上,托盘滑动连接在导柱上;托盘升降机构包括放卷机构及金属牵拉绳,其中,放卷机构设置在安装支架上,金属牵拉绳的一端固定在放卷机构上,另一端连接在托盘上,放卷机构用于经金属牵拉绳以带动托盘沿导柱上下滑动,使得托盘托住晶棒;晶棒检测机构设置在安装支架上,金属牵拉绳自放卷机构绕出后绕经晶棒检测机构并连接在托盘上,晶棒检测机构用于检测待取晶棒是否承托至托盘上。本申请能够自动地检测晶棒是否承托至
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221028790U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202322459609.2
(22)申请日2023.09.11
(73)专利权人无锡松瓷机电有限公司
地址2
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