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在固相粒子沉积装置的喷嘴运行时，也高效回收飞散的固相粒子。附件（1）由与冷喷涂装置（100）的喷嘴（130）接合的接合部（2）以及开口部（3）构成，该开口部（3）与接合部（2）结合且含有与回收部（20）连结的至少1个开口（3a、3b），该回收部回收喷嘴（130）向基板（170）喷射的、与基板（170）上的成膜无关的固相粒子（30b）。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115038812A
(43)申请公布日2022.09.09
(21)申请号202180013674.3(74)专利代理机构北京市安伦律师事务所
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