一种低游离碳碳化硅微粉生产方法.pdfVIP

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  • 2024-05-29 发布于四川
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本发明涉及硅微粉制备领域,具体公开了一种低游离碳碳化硅微粉生产方法,本发明通过二氧化硅、纯碳和镁粉作为制作原料,首先将制作原料放在反应炉内部,加热反应炉使得制作原料反应产出碳化硅微粉,通过高温反应使得物料充分反应,产生碳化硅微粉和氧化镁,减少碳化硅微粉内部未反应的制作原料杂质,碳化硅微粉中仍然残留多余碳粉,将反应完成的一阶碳化硅微粉转移到酸洗炉内部进行酸洗,浓硫酸在酸洗炉内部能够与纯碳、氧化镁反应,将纯碳转换成二氧化碳、二氧化硫和水,将氧化镁转换成硫酸镁,以此将纯碳和氧化镁从固态杂质转化为气态和

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118083982A

(43)申请公布日2024.05.28

(21)申请号202410189412.8

(22)申请日2024.02.20

(71)申请人浙江芯科半导体有限公司

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