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本实用新型公开了一种硅片抛光液制备用取样装置，包括取样管，所述取样管的顶端安装有密封盖，且密封盖的内部设置有通槽，所述密封盖的顶端安装有固定板，且固定板的顶端安装有拉环，所述固定板的底端安装有拉杆。本实用新型通过安装取样盒且在存放槽的相互配合下，可以对不同高度不同层的抛光液进行收取检测，从而起到高效工作的作用，同时通过安装盖板，可以防止抛光液在取出的过程中出现漏出或者与其他层混合的现象，以影响后续检测的结果，给工作人员带来不便，通过设置刻度表，可以方便工作人员对不同高度的抛光液进行取样，以提高后
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN221038224U
(45)授权公告日2024.05.28
(21)申请号202322868722.6
(22)申请日2023.10.25
(73)专利权人江苏山水半导体科技有限公司
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