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本发明涉及一种基于复合衬底结构声表面波器件的集成化芯片组结构,包括复合衬底、射频前端芯片和声表面波器件,复合衬底设有压电层,声表面波器件设置在压电层上,射频前端芯片设置在复合衬底底部,复合衬底设有声学器件输出引出电极结构、声学器件输入引出电极结构、声学器件接地引出电极结构和引出倒装输出电极结构,复合衬底中设有分别与声学器件输出引出电极结构、声学器件输入引出电极结构、声学器件接地引出电极结构和引出倒装输出电极结构连接的导电柱,声学器件输出引出电极结构与输入电极连接,声学器件接地引出电极结构与地电极
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118100850A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410249194.2
(22)申请日2024.03.05
(71)申请人北京航天微电科技有限公司
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