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本发明提供了一种曝光装置及标定方法,属于光刻及标定领域，曝光装置的曝光站包括移动载台、曝光头、多个标定板、上相机组件、下相机组件；标定板设置在移动载台的外周处；曝光头和上相机组件设置在移动载台的上方，下相机组件设置在移动载台的下方并可在平面及Z向可控的移动；标定方法包括在板材正面相邻两边曝光出三个曝光mark、板材翻转和位置标定；且在经过规定数量的板材标定及加工后，对曝光装置的标定进行校正。本申请采用设有标定mark部和透明曝光mark部的标定板替代传统的BLED打点对准，提高了标定精度，同时设
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118092084A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410359598.7
(22)申请日2024.03.27
(71)申请人苏州天准科技股份有限公司
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