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本发明提供一种基于多纵模激光自混合干涉的FSR测量装置及方法,装置包括多纵模激光发射器、分束器、偏振分光棱镜、反射目标、信号传输模块、信号处理模块和供电模块;多纵模激光器发出的激光经过分束器后获取第一光束和第二光束;第一光束入射至反射目标的反射面,并由反射面反射回激光器的谐振腔内,实现自混合干涉;第二光束经过偏振分光棱镜后获取平行偏振光和垂直偏振光;信号传输模块接收平行偏振光和垂直偏振光,分别对应产生水平和垂直自混合干涉信号并传输至信号处理模块;信号处理模块计算激光器的FSR;本发明的测量装置具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118089947A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410198139.5
(22)申请日2024.02.22
(71)申请人岭南师范学院
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