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本发明属于机械臂力矩调整技术领域，本发明公开了一种自适应晶圆机械臂力矩调整系统及方法，方法包括：当机械臂进入预定工作区域后，通过条码传感器识别晶圆的ID编号，与后台数据库匹配获得晶圆表征数据；将晶圆表征数据输入至预构建的第一机器学习模型，得出对应的机械臂旋转惯性系数；收集路径信息；将路径信息与晶圆表征数据输入至预构建的第二机器学习模型，得出对应的最优机械臂角加速度；将机械臂旋转惯性系数与最优机械臂角加速度输入至预构建的角加速度‑力矩数学模型中输出最优机械臂力矩值，根据计算出的最优机械臂力矩值调整
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117984334A
(43)申请公布日2024.05.07
(21)申请号202410403076.2
(22)申请日2024.04.03
(71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司
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