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扩EYENCE
基愿主
测量应
指南位置控制
索引
征选择指南…第2页
征测量原理pp第3页到第4页
和使用反射型传感器控制位置:第5页
和使用光透过型传感器控制位置-第6页
选择指南
使用反射型传感器控制位置
测量XY载物台的位置
训量无转动涂布机的高度测量拉张薄板的偏离度检测加热铜管的位置
使用光半过型传感需控制位置BEj
定位液晶面板
检测光纤的位置测量橡胶板的宽度位移
上Lik-s系列测量原理(三角测量型)
参考距离
发射器镜头“一村发射器镜头一
7
Ernostar
镜头
如上图所示,半导体激光问目标发出光束。Ernostar镜头聚集目标反射的光线并在感光元件上形成图像。光点在感光元件上的位置根
据目标的距离而变化。系统对该变化进行估算并转换为目标位置的测量结果。
上rr-9ooo系列测量原理(共集型)
高精度测量法使用共售原理
激光束穿过依靠音叉快速上下振动的物镜聚集在目标表面。从目标表面反射的光
东汇集在小孔处,随后进入感光元件。传感器通过测量物镜在感光时的确切位
置精确测出与目标表面的距离,不会受到目标材质、颜色或角度的影响。
焦点不在目标表面上
同轴光学系统改进了测量性能。
高角度特性测量落膜厚度
本本一小部分接收光穿过小孔。所有接收光都穿过小孔。
和,s-9ooo系列的测量原理(透过型)
[原理]将绿色LED光变为均匀的平行光后照射。检测到达
CMOS的光的明暗边缘位置,计算外径等参数的测量值。
16000
次1/秒采样
-配备“高速曝光CMOS”和“高亮度
二直人竺高二绿色LED”,采样达16000次/而,
监控CMOS时器1详置速曝光CMee一D全人
站反攻也可地和全各,测量CMOS0全滑远超以前的产品。实现生产线的提速
正的CMOS-测量发射器和接收器专用设计的测量CMOS。和游丸有余地进行平均化处理。
之间位
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