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本发明涉及一种层叠体,其具有:对活性能量射线具有透射性的支承体、所述支承体上的剥离层、以及所述剥离层上的树脂层,所述剥离层由含有膜形成成分和溶剂的剥离层形成用组合物形成,所述树脂层由树脂层前体形成,所述剥离层具有能够吸收所述活性能量射线而发生化学键断裂的断裂结构,所述膜形成成分具有第一反应性基团,所述树脂层前体具有能够与所述第一反应性基团反应的第二反应性基团。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118103209A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202280069688.1(74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理
(22)申请日20
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