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一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜.pdfVIP

一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜.pdf

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    本公开提供了一种镓酸锌薄膜的制备方法以及镓酸锌薄膜，其中，所述镓酸锌薄膜的制备方法包括：提供衬底；利用射频磁控溅射工艺，使用镓酸锌靶材和氧化锌靶材，在所述衬底上形成镓酸锌薄膜；其中，在射频磁控溅射工艺过程中，镓酸锌靶材的溅射功率为50W~200W，氧化锌靶材的溅射功率为20W~80W。本公开通过精确控制镓酸锌靶材和氧化锌靶材的溅射功率，可以实现对镓酸锌薄膜生长过程的精准调控，进而获得具有优异性能的镓酸锌薄膜。这种精确控制不仅能够提高薄膜的结晶度和均匀性，还有助于优化薄膜的光电和电学特性，从而在光

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118087032A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410494454.2

    (22)申请日2024.04.24

    (71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研

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