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不良追溯分析方法及系统、存储介质及计算机设备.pdfVIP

不良追溯分析方法及系统、存储介质及计算机设备.pdf

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    本发明涉及一种不良追溯分析方法及系统、存储介质及计算机设备。所述不良追溯分析方法，包括：基于统一的量测坐标系，获取多个工艺站点中的芯粒量测数据，并分类存储芯粒量测数据；芯粒量测数据至少包括坐标值和工艺站点编号；获取目标坐标值对应的异常芯粒量测数据；根据工艺站点编号，确定异常芯粒量测数据在各工艺站点中的匹配比例；根据匹配比例，从各工艺站点中确定目标坐标值对应的风险站点。上述不良追溯分析方法可以提高不良追溯分析的时效性和精准度，从而利于实现发光二极管芯片生产工艺的风险管控，以提升生产良率。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118093970A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202211444635.1

    (22)申请日2022.11.18

    (71)申请人重庆康佳光电科技

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