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本发明公开了一种磁头承载臂表面的镀膜方法，包括：将预处理后的磁头承载臂放置在真空室内；对磁头承载臂的表面进行溅射处理；在磁头承载臂的表面沉积Si过渡层；在所述Si过渡层的表面沉积SiC缓冲层；在所述SiC缓冲层的表面沉积DLC复合层。采用本发明的技术方案通过在磁头承载臂的表面形成均匀性好、表面平整的膜层，能够减小膜的内应力，有效防止膜开裂和脱落以及磁头承载臂发生型变。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118086828A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202211516311.4
(22)申请日2022.11.28
(71)申请人东莞新科技术研究开发有限公司
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