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2024-05-29 发布于四川
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一种用于掩膜版条纹观察装置.pdf

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本实用新型提供一种用于掩膜版条纹观察装置，包括可对掩膜版固定的夹持机构、以及设置在调节机构上对掩膜版进行观测的观测机构，夹持机构包括通过平面调节组件设置在底座上的支撑板、以及设置在支撑板上端面设置旋转组件上的夹持组件，平面调节组件调节支撑板板面的倾斜方向；夹持组件包括四个呈圆周阵列设置在旋转组件上且两两单独配合的卡爪、以及设置在旋转组件上并驱动两两单独配合的卡爪进行相互靠近或相互远离的夹持件；本实用新型避免了由于通过工作人员手持掩膜版进行观测而导致掩膜版出现污染的情况，提高了掩膜版标准化以及规范

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN221039772U

(45)授权公告日2024.05.28

(21)申请号202322873104.0

(22)申请日2023.10.25

(73)专利权人合肥清溢光电有限公司

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