原创力文档- 6
- 0
- 约1.58万字
- 约 12页
- 2024-05-29 发布于四川
- 举报
本发明提供了一种脉冲型电子束的层析成像系统及其测量方法，包括电子束源、真空舱体、高压栅极组件、法拉第杯、多轴运动平台以及控制及数据采集系统，电子束源用于发射电子束，高压栅极组件用于电子束能量的筛选，控制及数据采集系统与多轴运动平台传动连接，控制及数据采集系统与法拉第杯连接用于采集电子束信号。本发明通过多轴平台驱动法拉第杯转动，沿着狭缝垂线的方向扫过电子束截面，获得电子束在不同角度下的平行投影，通过滤波反投影算法得到电子束某一截面的电流密度分布；通过改变轴向距离和筛选电压的值，可获得不同能量电子三
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118091735A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410320820.2
(22)申请日2024.03.20
(71)申请人上海文景能源科技有限公司
地址
文档评论（0）