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一种超高精度设备制造用激光智能检测系统及方法.pdf

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    本发明公开了一种超高精度设备制造用激光智能检测系统及方法，涉及设备制造调控领域，其技术方案要点包括：数据库包括系统中相关信息的缓存和超高精度设备的参数信息，以及用户管理信息，并进行分布式存储和调用管理图像处理模块通过图像分割和去雾算法处理原始图像数据并获取处理后图像数据，坐标转换模块将激光坐标系中的坐标点转换为加工件坐标系，分析模块根据评估公式计算加工件上杂质颗粒的聚集和分布的评估指数，为判断模块的判定提供数据支持，判断模块根据判断结果生成不同的调控指令，调控指令包括对加工件进行清洗和加工件继续

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN118093553A

    (43)申请公布日2024.05.28

    (21)申请号202410488118.7

    (22)申请日2024.04.23

    (71)申请人成都工业学院

    地址610000

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