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本发明属于氯硅烷分离提纯技术领域,涉及一种协同去除氯硅烷中铝、磷、锑杂质的方法。该法首先将氯硅烷通过精馏或反歧化反应转化为三氯氢硅;再对转化的三氯氢硅降温,使杂质以沉淀形式析出;分离除去杂质沉淀,对溶液进行精馏提纯,得到高纯三氯氢硅。该法可将氯硅烷全部转化为三氯氢硅,转化率高,很大程度上降低了杂质的溶解度,在降低能量消耗的同时提升除杂效率;可以同时去除Al、P、Sb以及W、Fe、Ga、Zr等多种杂质,为氯硅烷的多杂质协同去除提供了新的工艺思路,进一步提高了氯硅烷的品质。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118083989A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202410074879.8
(22)申请日2024.01.17
(71)申请人内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司
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