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本发明提供一种动态随机存取存储器，包括衬底、多个位线结构以及接触窗。衬底具有有源区。多个位线结构设置于衬底上，且每一位线结构至少包括导电结构、绝缘盖层与间隙壁。绝缘盖层设置于导电结构上。间隙壁设置于导电结构的侧壁与绝缘盖层的侧壁上。导电结构被配置为与有源区电性连接。接触窗位于多个位线结构之间，且接触窗的至少一部分延伸至多个位线结构的一者的间隙壁的下方。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN118102705A
(43)申请公布日2024.05.28
(21)申请号202211457706.1
(22)申请日2022.11.21
(71)申请人华邦电子股份有限公司
地址中国
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