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毕业设计（论文）
题目：微摩擦力测量装置的设计
系别航空与机械工程系
专业名称机械设计制造及其自动化
班级学号
学生姓名
指导教师
二○一四年五月
微摩擦力测量装置的设计
摘要：摩擦现象与人类的生产和生活密切相关，自80年代原子显微镜和摩擦力显微镜问世以后，发现在原子、分子及纳米级尺度下宏观的摩擦规律不再适用，摩擦学研究开始进入微观与宏观结合的新阶段，随着微电子技术的飞速发展而兴起的微电子机械系统(MicroElectronMechanicalSystem,MEMS)，其零部件的几何尺寸目前一般在微米数量级，他们之间的摩擦介于微观与宏观摩擦之间，称之为微摩擦。本文提出了一种全新的微摩擦测试仪器，在查阅了大量的国内外资料的基础上，详细论述了微摩擦力测试仪的总体设计过程，主要包括转动装置和进给系统的具体设计原理和方法及电机的选用。
关键词:微摩擦力测试仪MEMS传感器
MECHANICALDESIGNOFMICROFRICTIONTESTINGBED
ABSTRACT:Thephenomenonoffrictionisgetwellwithpeoplesliveandproduct.Fromthe1980s,atom-microscopeandfrictionmicroscopecameout,thenthescientistsfoundthatthemacrofrictionregularitywasnotsuitableatthedegreeofatom,molecularandnano.ThishintsthatFrictionresearchhasenteredanewstageinwhichfrictionisstudiedinsub-micro-level.
Withthemicroelectronicstechnologydevelopment,themicroE6lectro-mechanical-system(MEMS)hasarapidlydeveloped,whoseapparatusgeometrydimensionatthelevelofmillimeter,thefrictionofthemisbetweenmicroandmacro.Itiscalledmicro-friction.NowtheurgentproblemsneededtobesolvedinMEMSresearchiswhetherthemacrofrictionregularityissuitableformicro-frictionphenomenaandwhatdegreeisthedimensionoffrictioncomponentinthatareaofmicro-friction.BecauseofthedevelopmentofMEMS,theexplicitprincipleofmicrofrictionisneededurgently,Ithasmanypracticalneedinmicro-frictionresearch.
UndertheguideofprofessorLiuWenguang,Ilookedupmanyabroadandnativeessaysanddidmanyexperimentation，anewmicrofrictionsurveyorsapparatuscameout,ithavemanyadvantagessuchashighmeasureprecision，cheaperthanothersproducts，reliabilityfunctionandsoon.Thisarticleisfocusedonthecourseofdesigningtheapparatusofmicro-friction.Inthisarticle，thepaperdescribesthreeparts,thedesignmethodsandprinciples
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