平晶检测平面度.pptxVIP

浮封环平面度检测平晶的使用昆山土山建设部件有限公司平面度误差平面度误差是将被测实际表面与理想平面进行比较，两者之间的线值距离即为平面度误差值。平晶干涉法用光学平晶的工作面作为理想平面，直接以干涉条纹的宽窄、弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。干涉法测量平面度误差，是把平晶放在它所能覆盖的整个被测平面上，用平晶工作面体现理想平面，根据测量时出现的干涉条纹形状和数目，由计算所得的结果作为平面度误差值。平晶检测浮封环浮封环工作面（光亮带）的平面度检测，通常是利用光波的干涉效应来测量。即使用光学玻璃平晶来进行测量，属于接触式平面度测量法。熟练者可以估读到1/10个干涉带，相当于0.03μm。干涉原理—-等厚干涉用平晶以技术光波干涉法检定测量面平面度时，出现的干涉条纹，其干涉原理是等厚干涉。即同一干涉条纹处在同一高度上。干涉条纹的形状一般有直线、圆形和弧形三种。直线形等距的干涉条纹或没有条纹说明被检工作面非常平整。直线形不等距干涉条纹说明平面有弯曲。圆形干涉条纹说明被检工作面为球面，圆心为工作面的中凸或中凹的中心点，判断凹凸的方法是用手轻压平晶中央，如干涉条纹向内跑即为中凹，向外跑即为中凸。使用光源光波干涉法使用的光源常采用单色光源，单色光源所产生的干涉图形较为清晰。准备与检测清除被检测的浮封环和平晶表面上的纤维、颗粒、油渍、水汽等污物。确认密封环端面无损伤。将平晶工作面轻放在浮封环工作面