日立SU8020扫描电镜应用培训82页PPT.ppt

日立八7

HITACHI

日立SU8020冷场发射扫描电镜

基础原理和应用介绍

天美(中国)科学仪器有限公司

应用工程师:高敞

2019年5月20日

HitachiHigh-TechnologiesCorporation

主要内容

日立小

、日立SU8020的工作原理

二、且立SU8020的操作和应用

1、SEM的结构

1、样品制备

2、SE和BSE信号

2、扫描电镜最基本的操作

3、分辨率及影响因素

!3、参数选择;Vac,W,SED

4、E×B技术

4、荷电现象

5、信号控制系统

5、“污染”现象

6、维护和保养

6、样品损伤

7、减速模式

1.扫描电镜的结构

日立小

电子枪

离子泵

聚光器

监视器

电子束偏转增幅器

偏转线圈

偏转线圈

物镜

二次电子

检测器

样品室样品也

增幅器

二次电子

真空泵

LM,TEM和SEM

日立小

Opticalsource

Electricsource

Electricsource

CondenserLel

Specimen

Specimen

00;/00

objlense

冈ObjLensScanning:

SEDetector

Specimens

Image

mag

Images

CRT

TEM

SEM

SU8020的外观结构

日立小

Beammonitor

preamplifier

Electrongun

Beammonitor

Secondary

Objectivemovable

electrondetector

aperturecover

Secondary

ation

electrondetector

trapdewal

(U-detector)

Specimenstage

exchangedevice

Evacuation

controlpanel

电子枪的结构

日立小

●FE-SEM电子枪

引出电源

引出电源

栅极保护层

ZrO/W10

第1阳极

第1阳极

310单品发射体

第2阳极

FETip

肖特基FE

冷场FE

阴极温度

1800K

室温

能量范围

1~0.7eV

0.2eV左右

电子源大小15-30m

5m以下

适合超高分辨

亮度

5x108A/cms1

2x109A/cm-sr

观察

探针电流

100nA以上

2nA左右

电子束稳定性

无需闪烁

需闪烁

寿命

1~2年3年以上

电子的色差

日立八分7

热场

冷场

d=15~30nm

d=5nm

E=1~0.7eV

△E=0.2eV

亮度:5×108A/cm2

「适合高分辨观家

亮度:2×109Acm2

探针电流:100nA以上

适合大电流分析

深针电流:2nA

2.SE和BSE信号

日立小

入射电子束

内部信号

深度随加速电压变化而变化特征X射线

荷电影响小

(元素信息)

BSE背散射电子

(凹凸/成份信息)

面信号

荷电影响大

CL荧光

SE二次电子

(化学结合状态信息)

俄歇电子(表层的元素信息

10nm以内

二次电子逸出深度)

电子散射区域

样品

EBIC样品吸收电流

入射电子束在样品中激发出的各种信号

SE和BSE的激发原理

日立小

入射电子

背散射电子

次电子

(BackscatteredElectron)(SecondaryElectron)

真空

样品(金属)

SE及BSB信号的产生

日立小

pRimaryBeamwokindsofSE

SEI-surfacefeatures

SE2-internalinformation

Backscattered

SElmore=surfacefeatures

Electron

SE2more=internalinformation

SecondaryElectionsecondaryElectron

(SEl)

TheDepthofSEGeneration

(10nm)

SecondaryElec

Specimen