三氯氢硅精馏.docx

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第四章TCS精馏工艺

在半导体材料多晶硅的生产中,三氯氢硅或四氯化硅提纯是一个重要的关键工序。提纯效果的优劣直接影响多晶硅的内在质量,所以人们在这一工序进展了一系列的争论工作,承受了很多的方法。其中有：精馏提纯法、萃取提纯法、固体吸附法、局部水解吸附法、络合物形成法等等。这些方法各有特点，但在多晶硅工业生产中，目前应用最多的仍旧是精馏提纯法。

精馏提纯法，也称简洁精馏法，是一种最重要的提纯方法。该法以其简洁有效，又避开引进任何试剂污染，绝大局部杂质均能被完全分别〔三氯氢硅与绝大多数杂质挥发度相差较大，除硼、磷两种有害杂质也并不格外困难〕,而得到广泛使用，所以本章将重点介绍精