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扫描电子显微镜用超薄原子力显微镜

你曾经想过在扫描电子显微镜中快速获取样品表面的三维信息吗？德国Kleindiek公司和瑞士Nanosurf公司的创新发明向您提供了一个即插即用的完美方案。

原子力显微镜和扫描电子显微镜的结合开拓了令人兴奋的新

技术。扫描电子显微镜多用于微米和纳米量级的表面二维分析，而原子力显微镜技术专长于研究不同材料表面的纳米级别的细节。

Kleindiek公司开发出了一款用于扫描电子显微镜内的小巧，紧凑和灵活的原子力显微镜扫描头。配上-Nanosurf的控制器和易操作的控制软件，扫描电子显微镜取得的二维形貌和材料的信息能够当场轻易地由精确的三维和力曲线的信息加以补充。

这两套装置上展现出来的独特性和易于操作的实用性为目前的工具仪器带来了新的附加值，减少了实验周期时间，因而增加了研究的生产能力。

原子力显微镜紧凑和精巧的系统使之完全能够安装在任何扫描电子显微镜中，甚至能与你的封闭样品载入室兼容。

该系统也可以在空气中独立运行。

优点：

结合扫描电子显微镜的实时三维信息原子力显微镜图像超薄紧凑设计（高度只有10毫米）

易于操作

与电镜中转腔尺寸兼容

运行稳定激光自定位技术，探针更换操作简易

能够和显微操作仪及其他真空腔外工具结合使用能在空气中和扫描电子显微镜中操作

Coarsepositioner（粗定位）

超薄的三维操作器具有无与伦比的稳定性和精确度操作范围：A10毫米，B80°，C5毫米

压电陶瓷马达范围：A1 微米,B10 微米,C1微米分辨率：A0.25 纳米,B2.5 纳米,C0.25纳米

低漂移：1纳米/分钟

运行可靠（一年的耐力考验）快速手动预定位

没有后冲，爬行和回放

粗，精定位有同一驱动器完成A=左/右,B=上/下,C=内/外原子力显微镜：

悬臂配套齐全的压电电阻感应器

在接触模式和动态力模式下运行（不久将会实现）

长度：400微米宽度：50微米高度：4~5微米

探针半径20纳米

探针高度5 微米

探针力常数：2–4N/m最大针尖力度：80微纳电阻：500t~650 Ω

灵敏度：3.1 ×10??–3 毫伏/纳米@Vbridge=2.5 伏

原子力显微镜扫描装置：

超平扫描仪的扫描范围在XY向高达15微米，z向为5微米

载物平台：

扫描电子显微镜和聚焦离子束封闭样品载入室兼容简易快速的悬臂定位

总系统高度：9毫米总系统宽度：95毫米

最大样品范围：12 毫米×12 毫米×1毫米重量：100 克

原子力显微镜软件：

操作简单的控制和成像软件内置后处理和分析功能

具有刻蚀和脚本功能

扫描探针显微镜S200控制器:

每秒高达16行16比特的数据采集高达2048×2048扫描范围数据点高达65535光谱数据点

硬件样品倾斜补偿

扫描仪驱动信号为16比特单线连接扫描仪

2.0的USB接口

模块化设计在未来升级中可以丰富原子力显微镜的测量模式电源：90–240VAC@50/60Hz(100W)

大小：470 ×120 ×80mm

重量：2.4 千克