aip 2008 enhanced electrical properties of atomic layer deposited la2o3 thin films with embedded zro2嵌入纳米晶体原子层沉积薄膜电性能增强.pdfVIP
- 1、本文档共8页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
EnhancedelectricalpropertiesofatomiclayerdepositedLa2O3thinfi
withembeddedZrO2nanocrystals
K.B.Jinesh,J.H.Klootwijk,Y.Lamy,R.Wolters,E.Toisetal.
Citation:Appl.Phys.Lett.93,172904(2008);:10.1063/1.3009202
Viewonline:
ViewTableofContents:
PublishedbytheAmericanInstituteofPhysics.
RelatedArticles
Transparencycontrollablesilver-basedelectrodeforflexibleoptoelectronics
Appl.Phys.Lett.102,081118(2013)
Maicfieldtunableacousticresonatorwithferromaic-ferroelectriclayeredstructure
J.Appl.Phys.113,17C704(2013)
Amethodofreducingbackgroundradianceforemissivity-compensatedradiationthermometryofsiliconwafers
Rev.Sci.Instrum.84,024904(2013)
Ultra-thinfilamentsrevealedbythedielectricresponseacrossthemetal-insulatortransitioninVO2
Appl.Phys.Lett.102,063110(2013)
Originofvariationinswitchingvoltagesinthreshold-switchingphenomenaofVO2thinfi
Appl.Phys.Lett.102,063501(2013)
AdditionalinformationonAppl.Phys.Lett.
JournalHomepage:
JournalInformation:
Topdownloads:
InformationforAuthors:
APPLIEDPHYSICSLETTERS93,1729042008
EnhancedelectricalpropertiesofatomiclayerdepositedLaOthinfi
23
withembeddedZrO2nanocrystals
K.B.Jinesh,1,aJ.H.Klootwijk,2Y.Lamy,1R.Wolters,1E.Tois,3M.Tuominen,3
11
F.Roozeboom,andW.F.A.Besling
1
NXP-TSMCResearchCenter,HighTechCampus4,5656AE,Eindhoven,Thherlands
2
PhilipsResearch,HighTechCampus4,5656AEEind
文档评论(0)