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半导体基础知识和半导体器件工艺

第一章半导体基础知识

通常物质根据其导电性能不同可分成三类。第一类为导体，它可以很好的传

导电流，如：金属类，铜、银、铝、金等；电解液类：NaCl水溶液，血液，普

通水等以及其它一些物体。第二类为绝缘体，电流不能通过，如橡胶、玻璃、陶

瓷、木板等。第三类为半导体，其导电能力介于导体和绝缘体之间，如四族元素

Ge锗、Si硅等，三、五族元素的化合物GaAs砷化镓等，二、六族元素的化合

物氧化物、硫化物等。

物体的导电能力可以用电阻率来表示。电阻率定义为长1厘米、截面积为1

平方厘米的物质的电阻值，单位为欧姆*厘米。电阻率越小说明该物质的导电性

能越好。通常导体的电阻率在10-4欧姆*厘米以下，绝缘体的电阻率在109欧

姆*厘米以上。

半导体的性质既不象一般的导体，也不同于普通的绝缘体，同时也不仅仅由

于它的导电能力介于导体和绝缘体之间，而是由于半导体具有以下的特殊性质：

(1)温度的变化能显著的改变半导体的导电能力。当温度升高时，电阻率会降低。

比如Si在200℃时电阻率比室温时的电阻率低几千倍。可以利用半导体的这个

特性制成自动控制用的热敏组件（如热敏电阻等），但是由于半导体的这一特性，

容易引起热不稳定性，在制作半导体器件时需要考虑器件自身产生的热量