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工艺动力系统
CUPCentralUtilityPlant?中央动力厂房
GEX?GeneralEXhaust普通及热排气
SEXScrubberEXhaust?酸排气
VEXVolatileorgaiccompoundEXhaust?有机溶剂排气
AEXAmmoniaEXhaust?碱性排气
PCWProcessCoolingWater工艺冷却水
PVProcessVacuum工艺真空
HVHouseVacuum?真空吸尘
CWCityWater?自来水
FMCS?FailityMonitoringControSystem厂务监控系统?????
MCC?MotorControlCenter?马达控制中心?????????
VFD?VariableFrequencyDevice?变频器?????????
CCTV?CloseCircuitTelevsion闭路电视?????????
PA?PublicAdresssystem广播系统
FA?FireAlarm?system?火灾报警系统
UPW?UltraPureWater?超纯水
FWW??FluorideWasteWater低浓度氢氟酸废水
IWW?IndustryWasteWater?工业废水????????
OWW?OrganicWasteWater有机溶剂废水????
DAHW??DrainAmonia?Hydride?Waste?含氨废水?????????
RCL?Recyclewater?制程回收循环水
RCM?Reclaimwater??制程回收再利用水
HFW?HighFluorideWastewater??高浓度氢氟酸废水?????????
BGW?BackgridingWastewater??晶背研磨废水?????????
SAW?SulfuricAcidWastewater?硫酸废液????
PAWPhosphoricAcidWastewater?磷酸废液?????????
SW?StripperWastewater?剥离液废液
TW?ThinnerWastewater?清洗废液
PIXPixwastewaterPIX废液
SLOWOxideslurrywastewater介电质研磨废水?????????
SLWPMetalslurrywastewater?金属研磨废水?????????
SLWPPolyslurrywastewater?多晶硅研磨废水?????????
PN2?ProcessN2??制程用氮气?????????
GN2GeneralN2?一般用氮气
CDA?Compressor?DryAir压缩干燥空气?????
VMB??ValveManifoldBox?阀箱???
空调系统?????????
AHU?AirHandlingUnit??空调箱?????????
MAU?Make-up?AirUnit?外气空调箱
VAV?VariableAirVolume?box?可变风量风箱
FFU?FanFilterUnit??风车过滤器?????????
HEPA?HighEfficiencyParticulateFilter?高效率过滤器?????
ULPA?UltraLowPenetrationFilter?超高效率过滤器?????????
A/SAir?Shower空气浴尘室
CUP??CentralUtilityPlant?中央动力厂房
电力系统?????????
FMCSFailityMonitoringControlSystem?厂务监控系统?????????
MCC?MotorControlCenter?马达控制中心?????????
VFD??VariableFrequencyDevice?变频器?????????
CCTV?CloseCircuitTelevsion??闭路电视?????????
SCADA?Supervisory?ControlAndDataAcquisiti
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