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f3化学系统包电子器件厂房建设项目报告.pdf

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    一、组织套图范围：除主套范围外，其余管路行经路径空间敝司均为副套,副套区域共计

    FAB一层(中电四)；Fab2层HPM2.5层(汉唐)

    HPM一层廊道(吉威);CUP一层及一层管沟(野村)；

    废水站一层及一层(崇越)；室外管架、管桥(中电二);

    F3化学系统包主套

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