GB_T 28892-2024 表面化学分析 X射线光电子能谱 选择仪器性能参数的表述.pdf

ICS71.040.40

CCSG04

表面化学分析X射线光电子能谱

选择仪器性能参数的表述

(ISO15470:2017,IDT)

2024-03-15发布

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

目次

前言…………………………Ⅲ

引言……………………IN

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4缩略语……………………1

5选择仪器性能参数的表述…………………1

5.1分析方法……………1

5.2样品…………………1

5.3系统构成……………1

5.4X射线源………………2

5.5谱仪强度性能和能量分辨……………2

5.6谱仪能量标…………………………2

5.7谱仪强度线性………………………2

5.8谱仪响应函数…………………………2

5.9成像和选区分辨………………………2

5.10荷电中和……………3

5.11变角XPS……………………3

5.12真空环境……………4

参考文献……………5

I

前言

起草。

述》,与GB/T28892—2012相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了术语和定义(见第3章，2012年版的第3章);

b)更改了方法2(见5.9.3,2012年版的5.9.3)。

述》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。

本文件起草单位：厦门荷清教育咨询有限公司、厦门大学。

本文件主要起草人：汤丁亮、李建辉、徐富春、岑丹霞、刘芬、王水菊。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：

GB/T28892—2012:

——本次为第一次修订。

Ⅲ

GB/T28892—2024/ISO15470:2017

引言

全球有多家厂商生产X射线光电子能谱仪。尽管每台仪器的XPS分析方法的基本原理是相同

的，但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此，通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。本

文件提供了一个基本项目单，以使所有X射线光电子能谱仪能以共同的方式来表述。本文件无意取代

厂商的说明书，厂商的说明书可以长达30页或更多。本文件目的是使厂商说明书中确定的某些