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半导体厂务系统
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半导体厂务工作吴世全国家奈米元件试验室一、前言近年来,半导体晶圆厂已进展到8“晶圆的量产规模,同时,也着手规划12“晶圆的建厂与生产,预备迎接另一世代的产业规模。於是各厂不断地扩增其产能与扩大其厂区规模,似乎稍一停顿即会从今竞争中败下阵
半导体厂务工作
吴世全
国家奈米元件试验室
一、前言
近年来,半导体晶圆厂已进展
到8“晶圆的量产规模,同时,
格的256M进展;甚至μm的1Gb〔十亿位元〕集积度的DRAM元件设计也屡见不鲜。亦即整个半导体产业正陷入尖端技术
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