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多弧离子镀TiAIN涂层的组织结构和性能研究
摘要
本文采用多弧离子镀技术，粉末热压烧结TiA1合金靶，在硬质合金和高速
钢基体上沉积单层TiAIN，5层TiA1N/TiN和20层TiA1N/TiN涂层，研究了三种
表面形貌、物相结构、摩擦磨损性能、抗氧化性能和耐腐蚀性能。
形貌分析表明三种涂层表面均有颗粒和凹坑的存在。其中单层涂层表面的颗
粒和凹坑的密度最大，5层涂层的表面颗粒密度稍小，粒径大小分散，大颗粒居
多。20层涂层的表面较为平整，颗粒和凹坑密度较
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