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A：灯丝〔放射极〕F：栅极〔加速极〕
A：灯丝〔放射极〕F：栅极〔加速极〕G：收集极
薄膜材料与薄膜技术第一章
真空度划分：
粗真空：105-102Pa接近大气状态热运动为主低真空：102-10-1Pa
高真空：10-1-10-6Pa超高真空：10-6Pa
吸附与脱附物理吸附与化学吸附
气体吸附：固体外表捕获气体分子的现象
物理吸附：没有选择性、主要靠分子之间的吸引力、简洁发生脱附、一般只在低温下发生化学吸附：在较高温度下发生、不简洁脱附，只有气体和固体外表原子接触生成化合物才能产生吸附作用。
气体脱附：是吸附的逆过程。
旋片式机械真空泵
用油来保持各运动部件之间的密封，并靠机
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