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天津市档案局电子数据安全管理制度
2014年秋季学期研究生课程考核
(读书报告、研究报告)
考核科目电子显微分析技能训练
学生所在院系材料学院
学生所在学科材料加工工程
姓名王保全
学号14SD09004
学生类别应用型
1
页脚内容
天津市档案局电子数据安全管理制度
扫描电子显微镜
扫描电子显微镜是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时,激发出来的各种物
理信号调制成像的。新式扫描电子显微镜的二次电子像分辨率已经达到3~4mm,
放大倍数可以原位数倍放大到20万倍左右。由于扫描电子显微镜的景深远比光
学显微镜大,可以用它进行显断口分析。用扫描电子显微镜观察显微断口形貌时,
样品不必复制,可进行观察,这给分析带来了极大的方便。因此,目前显微断口
的分析工作都是通过扫描电子显微镜完成的。
电子显微枪的效率不断提高,使得扫描电子显微镜样品室附近的空间增大,
可以装入更多的探测器。因此,现在的扫描电子显微镜不只是分析形貌,它可以
和其它分析仪器相结合,使人们能够在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体
结构等微观组织结构的同位分析。
1扫描电子显微镜的构造和工作原理
扫描电子显微镜是由电子光学系统,信号收集处理、图像显示和记录系统,
真空系统三个基本部分组成。图1为扫描电子显微镜原理的框图。
图1扫描电子显微镜原理的框图
1.1电子光学系统(镜筒)
1.1.1电子枪
扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似,只是加速电压
比透射电子显微镜低。
2
页脚内容
天津市档案局电子数据安全管理制度
1.1.2电磁透镜
扫描电子显微镜中各电磁透镜都不作成像透镜用,而是作聚光镜用,它们的
功能只是把电子枪的束斑逐级聚焦缩小,使原来直径约为50um的束斑缩小成一
个只有数个纳米的细小斑点。要达到这样的缩小倍数,必须用几个透镜来完成。
扫描电子显微镜一般都有三个聚光镜,前两个聚光镜是强磁透镜,可把电子束光
斑缩小,第三个透镜是弱磁透镜,具有较长的焦距。布置这个末级透镜的目的在
于使样品室和透镜之间有一定的空间,以便装入各种信号探测器。扫描电子显微
镜中照射到样品上的电子书直径越小,就相当于成像单元的尺寸越小,相应的分
辨率越高。采用普通热阴极电子枪,扫描电子束的束径可达到6nm左右。若采
用六硼化镧阴极和场发射电子枪,电子束束径还可进一步缩小。
1.1.3扫描线圈
扫描线圈的作用是使电子书偏转,并在样品表面左右规则的扫动,电子束在
样品上的扫描动作和县相关上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描
发生器控制的。图2示出电子束在样品表面进行扫描的两种方式。进行形貌分析
时都采用光栅扫描方式,见图2-a。当电子束进入上偏转线圈时,方向发生转折,
随后又有下偏转线圈使它的方向发生第二次转折。发生二次偏转的电子束通过末
级透镜的光心射到样品表面。在电子束偏转的同时还带有逐行扫描动作,电子束
在上下偏转线圈的作用下,在样品表面扫描出方形区域,相应地在显像管荧光屏
上也画出一帧比例图像。样品上各点受到电子束轰击时发出的信号可由信号探测
器接收,并通过显示系统在显像管荧光屏上按强度描绘出来。如果电子束经上述
偏转线圈转折后未经下偏转线圈改变方向,而直接由末级透镜
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